一、產(chǎn)品名稱：鉻靶材、鉻靶塊
凱澤金屬鉻靶材規(guī)格：
圓靶（直徑φ1"-φ14"，厚度0.5-15mm）
板靶(長<500mm，寬<500mm，高<25mm）
管靶（外直徑φ3.0mm-φ300mm,內(nèi)直徑φ2.0mm-280mm）
材料純度：>99.995%
金屬雜質(zhì)含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm
平整度（TIR）:<20μm
局部平整度（STIR）:<10μm
翹曲度（Warp）:<50μm
二、產(chǎn)品名稱：鈦靶材，鈦圓柱靶、鈦靶管
牌號：TA1，GR1
執(zhí)行標準：GB/T2695-1996，ASTM B348-97
用途：鈦靶材用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層，玻璃鍍膜工業(yè)等領(lǐng)域。
三、產(chǎn)品名稱：鎳靶材
牌號：N6, N4
用途：鎳靶材用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層，玻璃鍍膜工業(yè)等。
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