靶材是制備薄膜的主要材料之一，被廣泛應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如液晶顯示屏、集成電路、平板顯示等等，對(duì)材料的純度和穩(wěn)定性要求較高。更換不同的靶材，即可得到不同的膜系。凱澤金屬給大家將靶材安裝的注意事項(xiàng)，分享如下：
1、注意建立導(dǎo)熱鏈接
靶材在安裝過(guò)程中，特別要注意的一點(diǎn)是要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會(huì)造成靶材安裝時(shí)發(fā)生開(kāi)裂或彎曲，背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會(huì)受到很大的影響，導(dǎo)致在濺射過(guò)程中熱量無(wú)法散發(fā)，以至于會(huì)造成靶材開(kāi)裂或脫靶。為確保足夠的導(dǎo)熱性，可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請(qǐng)注意要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度，同時(shí)確保密封圈始終在位置上。
2、注意清理污垢
安裝靶材時(shí)，要注意清理產(chǎn)生的污垢。所使用冷卻水的潔凈程度與設(shè)備設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可能會(huì)產(chǎn)生污垢，這些污垢會(huì)會(huì)沉積在陰極冷卻水槽內(nèi)，所以在安裝靶材時(shí)需要對(duì)陰極冷卻水槽進(jìn)行檢查和清理，確保冷卻水循環(huán)的順暢和進(jìn)出水口不會(huì)被堵塞。有些陰極設(shè)計(jì)與陽(yáng)極的空隙較小，所以在安裝靶材時(shí)需要確保陰極與陽(yáng)極之間沒(méi)有接觸也不能存在導(dǎo)體，否則會(huì)產(chǎn)生短路。
3、注意短路及密封性檢查
在靶材安裝完成后，注意需要對(duì)整個(gè)陰極進(jìn)行短路檢查及密封性檢查。此想檢查可以通過(guò)使用電阻儀搖表的方式對(duì)陰極是否存在短路進(jìn)行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進(jìn)行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現(xiàn)象。
結(jié)合上述內(nèi)容可以知道，靶材安裝的注意事項(xiàng)主要有三點(diǎn)，在安裝過(guò)程中要注意確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立導(dǎo)熱連接，注意清理冷卻水及運(yùn)行產(chǎn)生的污垢，靶材安裝完成后要注意短路及密封性的檢查。安裝完成后在收緊靶材夾具時(shí)，請(qǐng)先用手轉(zhuǎn)緊一顆鏍栓，再用手轉(zhuǎn)緊對(duì)角線上的另外一顆鏍栓，如此重復(fù)直到安裝上所有鏍栓后，再用工具收緊。寶雞市凱澤金屬材料有限公司是一家研發(fā)生產(chǎn)鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術(shù)企業(yè)，十余年專(zhuān)注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發(fā)、生產(chǎn)，靶材組織結(jié)構(gòu)均勻、濺射成膜性能優(yōu)異，如果您對(duì)靶材有疑問(wèn)或需要，歡迎聯(lián)系凱澤金屬。
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